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Matesy傳感器

產(chǎn)品型號(hào):

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

產(chǎn)品價(jià)格:

產(chǎn)品時(shí)間:2024-07-10

簡(jiǎn)要描述:

Matesy傳感器



技術(shù)文章:

Matesy傳感圖層屬性

濺射氣體的分壓或磁場(chǎng)可影響氣體成分的變化,氣體成分的變化不影響層的厚度,而且影響層的成分。因此,對(duì)于層厚度的校正,對(duì)磁場(chǎng)的控制和調(diào)節(jié)提出了質(zhì)疑!

Matesy傳感器


技術(shù)文章:

Matesy傳感圖層屬性

濺射氣體的分壓或磁場(chǎng)可影響氣體成分的變化,氣體成分的變化不影響層的厚度,而且影響層的成分。因此,對(duì)于層厚度的校正,對(duì)磁場(chǎng)的控制和調(diào)節(jié)提出了質(zhì)疑!

Matesy傳感m-cat系統(tǒng)通過表征管狀磁控管,有助于控制濺射系統(tǒng)中的磁性成分。除了對(duì)磁場(chǎng)配置進(jìn)行的測(cè)量和分析之外,m-cat系統(tǒng)還為可調(diào)磁控管提供了幫助,無論制造商是誰。另外,確定磁控管的幾何形狀(偏轉(zhuǎn))以*運(yùn)行。

Matesy傳感通過使用m-cat,您可以增加

性高,因?yàn)榭梢詫?duì)新的磁控管進(jìn)行接收檢查,并且可以早,地檢測(cè)出有缺陷的磁控管。

由于可以以可控的方式設(shè)置可調(diào)磁控管或可以容易地組合合適的磁控管,因此可以實(shí)現(xiàn)層厚度的均勻性。

可以避免靶材的壽命,因?yàn)榭梢员苊鉃R射成本高昂的靶材。

Matesy傳感特性

采集完整的磁場(chǎng)輪廓

1分鐘內(nèi)完成測(cè)量

磁控管偏轉(zhuǎn)的幾何識(shí)別

長(zhǎng)度從.4-4. m

提供用于圓形陰和平面陰磁控管的系統(tǒng)

對(duì)測(cè)量任務(wù)的適應(yīng)性

可選地可以在目標(biāo)中測(cè)量

可以記錄可選的目標(biāo)參數(shù)(直徑,偏轉(zhuǎn))

該系統(tǒng)可以在現(xiàn)有的制造過程中實(shí)施

高可用性

m-cat測(cè)量單元

磁參數(shù)

磁場(chǎng)配置:33個(gè)通道(X,YZ+/- 1

檢測(cè)和磁場(chǎng)強(qiáng)度

磁控管偏轉(zhuǎn)的幾何識(shí)別

可修剪磁控管的修整輔助功能

野外歷程的圖形表示

Matesy傳感磁控管的幾何形狀(磁性功能部件的位置):+/- .1 mm

目標(biāo)的幾何形狀(直徑,偏轉(zhuǎn)):+/- .1毫米

可以記錄可選的目標(biāo)參數(shù)(直徑,偏轉(zhuǎn))

具有生命周期管理,視圖和設(shè)置選項(xiàng)的軟件

具有CSV格式的單個(gè)測(cè)量系列的HSE和導(dǎo)出功能

Matesy傳感器

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